亚洲亚洲电影网 迅雷下载剧情介绍: “现在,我们已经抛光出了两块皮米级的光学镜片,一块表面精度在80pm-RMS,另一块更是50pm-RMS!”
听到这个消息,林晓顿时为之高兴起来,这样一来,他们华国也将拥有世界最顶级的抛光技术了!
这个光刻机中最关键的技术之一,在他们手上正式得到了突破!
林晓笑着道:“干的好!罗院士,咱们再多打磨几块出来,让外国人开开眼!”
“当然!”
罗刚宪回应一声,而后两人也不再多说,挂了电话。
林晓的心情也随之变好了起来。
光学镜片搞定,剩下的就是光源以及双工作台这两个问题了。
双工作台主要还是精度上的问题,他们当前的精密技术并不能保证其始终稳定,不过随着编码器的更新,双工作台也迟早能够实现突破。
至于光源的问题,因为林晓脑海中有着来自阿斯麦尔EUV光刻机的成熟方案,所以对他来说这就更不是问题了,他所需要做的就是,对这个方案进行一下优化,避免在专利上产生冲突,这也是为什么他之前都没有直接照搬脑海中的那些资料,都是因为专利问题,他能通过申请专利避免国外侵犯权益,国外的专利,他们自然也得遵守。
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